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3D光学轮廓显微镜使用光学轮廓仪,集成了共聚焦计数和干涉测量技术,并具有薄膜测量能力,该系统可以用于标准的明场彩色显微成像,共焦成像,三维共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。